{"id":13426,"date":"2025-06-17T07:15:08","date_gmt":"2025-06-17T05:15:08","guid":{"rendered":"https:\/\/www.sensors-components.endress.com\/?p=13426"},"modified":"2025-06-18T08:44:34","modified_gmt":"2025-06-18T06:44:34","slug":"unsere-sensoren-ihre-applikationen-kapazitiv-keramische-drucksensoren-vakuummessgeraete","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.sensors-components.endress.com\/de\/2025\/06\/17\/unsere-sensoren-ihre-applikationen-kapazitiv-keramische-drucksensoren-vakuummessgeraete\/","title":{"rendered":"Unsere Sensoren &#8211; Ihre Applikationen: Kapazitiv keramische Drucksensoren f\u00fcr Vakuummessger\u00e4te"},"content":{"rendered":"<div id='full_slider_1'  class='avia-fullwidth-slider main_color avia-shadow   avia-builder-el-0  el_before_av_textblock  avia-builder-el-first   container_wrap fullsize'  ><div  class='avia-slideshow av-l7q6njly-bdf30f596308014a37edee5a718c5d66 avia-slideshow-featured av_slideshow_full avia-slide-slider av-slideshow-ui av-control-default av-slideshow-manual av-loop-once av-loop-manual-endless av-default-height-applied   avia-slideshow-1' data-slideshow-options=\"{&quot;animation&quot;:&quot;slide&quot;,&quot;autoplay&quot;:false,&quot;loop_autoplay&quot;:&quot;once&quot;,&quot;interval&quot;:5,&quot;loop_manual&quot;:&quot;manual-endless&quot;,&quot;autoplay_stopper&quot;:false,&quot;noNavigation&quot;:false,&quot;bg_slider&quot;:false,&quot;keep_padding&quot;:false,&quot;hoverpause&quot;:false,&quot;show_slide_delay&quot;:0}\"  itemprop=\"image\" itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/ImageObject\" ><ul class='avia-slideshow-inner ' style='padding-bottom: 27.2%;'><li  class='avia-slideshow-slide av-l7q6njly-bdf30f596308014a37edee5a718c5d66__0  av-single-slide slide-1 slide-odd'><div data-rel='slideshow-1' class='avia-slide-wrap '   ><img decoding=\"async\" fetchpriority=\"high\" class=\"wp-image-10763 avia-img-lazy-loading-not-10763\"  src=\"https:\/\/www.sensors-components.endress.com\/wp-content\/uploads\/2024\/09\/Abs_Gauge_Pressure_UxCx0_1920x400-1500x408.jpg\" width=\"1500\" height=\"408\" title='Abs_Gauge_Pressure_UxCx0_1920x400' alt=''  itemprop=\"thumbnailUrl\"   \/><\/div><\/li><\/ul><\/div><\/div><div id='after_full_slider_1'  class='main_color av_default_container_wrap container_wrap fullsize'  ><div class='container av-section-cont-open' ><div class='template-page content  av-content-full alpha units'><div class='post-entry post-entry-type-page post-entry-13426'><div class='entry-content-wrapper clearfix'>\n<section  class='av_textblock_section av-l7q6pzyl-709d05a1f6f49ac0e1d2a875291c95a6 '   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><h1><strong>Kapazitiv keramische Drucksensoren f\u00fcr Vakuummessger\u00e4te in der Halbleiterindustrie<\/strong><\/h1>\n<p><strong>Die Anwendung:<\/strong><\/p>\n<p>Vakuummessger\u00e4te sind wichtige Instrumente zur Messung und \u00dcberwachung des Vakuums in verschiedenen Branchen. In der Halbleiterfertigung werden z.B. Vakuummessger\u00e4te h\u00e4ufig zur \u00dcberwachung und Steuerung des Vakuums w\u00e4hrend Herstellungsprozessen wie \u00c4tzen und Abscheidung eingesetzt.<\/p>\n<p><strong>Die Herausforderung:<\/strong><\/p>\n<ul>\n<li><strong>Anforderungen an Pr\u00e4zision und Genauigkeit <\/strong><\/li>\n<\/ul>\n<p>Halbleiterfertigungsprozesse erfordern eine sehr hohe Pr\u00e4zision und Genauigkeit bei Vakuummessungen. Schon geringe Druckabweichungen k\u00f6nnen zu Defekten bei der Waferherstellung f\u00fchren, wie z. B. ungleichm\u00e4\u00dfiges \u00c4tzen oder Abscheidung. Vakuummessger\u00e4te m\u00fcssen mit hoher Empfindlichkeit und Stabilit\u00e4t arbeiten, um eine gleichbleibende Prozesskontrolle zu gew\u00e4hrleisten.<\/p>\n<ul>\n<li><strong>Chemische Best\u00e4ndigkeit <\/strong><\/li>\n<\/ul>\n<p>In Halbleiterfabriken wird eine Vielzahl von Prozessgasen und Chemikalien verwendet, die korrosiv oder reaktiv sein k\u00f6nnen. Vakuummessger\u00e4te m\u00fcssen mit diesen Substanzen kompatibel sein, um eine Verunreinigung zu vermeiden.<\/p>\n<p><strong>Unsere L\u00f6sung:<\/strong><\/p>\n<p>Im Vergleich zu herk\u00f6mmlichen Technologien wie Pirani-Messger\u00e4te oder piezoresistiven Drucksensoren bieten die kapazitiven keramischen Drucksensoren der Ceracore-Familie von Endress+Hauser folgende Vorteile:<\/p>\n<ul>\n<li><strong>Au\u00dfergew\u00f6hnliche Resistenz gegen Umwelteinfl\u00fcsse<\/strong><\/li>\n<\/ul>\n<p>Die kapazitiv keramischen Drucksensoren von Endress+Hauser werden aus hochreiner (99,9 % Al2O3) Keramik hergestellt, die eine ausgezeichnete Korrosions- und Abriebfestigkeit aufweist. Dies erm\u00f6glicht auch an herausfordernden Prozessbedingungen wie hohen Temperaturen, niedrigen Dr\u00fccken oder im korrosiven Milieu eine zuverl\u00e4ssige Messung.<\/p>\n<ul>\n<li><strong>Hohe Sensitivit\u00e4t <\/strong><\/li>\n<\/ul>\n<p>Durch die Verwendung keramischer Materialien und der kapazitiven Technologie k\u00f6nnen die Sensoren bereits sehr kleine \u00c4nderungen erkennen und diese in pr\u00e4zise elektrische Signale umwandeln. Diese hohe Empfindlichkeit erm\u00f6glicht eine genaue Messung des Vakuums. In Anwendungen mit Vakuummessger\u00e4ten, in denen pr\u00e4zise Druckmessungen von entscheidender Bedeutung sind, gew\u00e4hrleistet die hohe Empfindlichkeit der kapazitiven keramischen Drucksensoren, dass selbst kleinste \u00c4nderungen des Vakuums erkannt und \u00fcberwacht werden k\u00f6nnen.<\/p>\n<ul>\n<li><strong>Langzeitstabilit\u00e4t<\/strong><\/li>\n<\/ul>\n<p>Die Ceracore Drucksensoren weisen eine hohe Nullpunktstabilit\u00e4t auf, was bedeutet, dass sie \u00fcber lange Zeitr\u00e4ume hinweg eine hohe Genauigkeit und Zuverl\u00e4ssigkeit der Messung beibehalten k\u00f6nnen. Diese Langzeitstabilit\u00e4t ist f\u00fcr Vakuummessger\u00e4te von entscheidender Bedeutung, da sie konsistente und genaue Messungen \u00fcber die gesamte Lebensdauer des Ger\u00e4ts gew\u00e4hrleistet. In industriellen Prozessen, die eine kontinuierliche \u00dcberwachung des Vakuums erfordern, tr\u00e4gt die Langzeitstabilit\u00e4t der keramisch kapazitiven Drucksensoren beispielsweise dazu bei Messfehler zu minimieren und die Prozesskontrolle zu verbessern.<\/p>\n<p>Endress+Hauser Sensors&amp;Components entwickelt seit \u00fcber drei Jahrzehnten kundenspezifische Sensoren und setzt dabei auf eine partnerschaftliche Zusammenarbeit mit dem Kunden. Ein interdisziplin\u00e4res Team aus Entwicklung, Produktmanagement und Vertrieb setzt die Anforderungen der Anwender bestm\u00f6glich um. Alle Informationen zum kapazitiven keramischen Druckportfolio finden Sie auf den entsprechenden <a href=\"https:\/\/www.sensors-components.endress.com\/de\/produkte\/absolutdruck-relativdruck\/\">Produktseiten<\/a>.<\/p>\n<\/div><\/section>\n\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-l81lvsow-333c84c6362932bcda462dbc65e138a3\">\n#top .hr.hr-invisible.av-l81lvsow-333c84c6362932bcda462dbc65e138a3{\nheight:50px;\n}\n<\/style>\n<div  class='hr av-l81lvsow-333c84c6362932bcda462dbc65e138a3 hr-invisible  avia-builder-el-2  el_after_av_textblock  avia-builder-el-last '><span class='hr-inner '><span class=\"hr-inner-style\"><\/span><\/span><\/div>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"","protected":false},"author":8,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"inline_featured_image":false,"footnotes":""},"categories":[3],"tags":[],"class_list":["post-13426","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-unkategorisiert"],"yoast_head":"<!-- This site is optimized with the Yoast SEO plugin v27.0 - https:\/\/yoast.com\/product\/yoast-seo-wordpress\/ -->\n<title>Unsere Sensoren - Ihre Applikationen: Kapazitiv keramische Drucksensoren f\u00fcr Vakuummessger\u00e4te - Customized Pressure Sensors and Components<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"Endress+Hauser Sensors&amp;Components bietet Sensoren f\u00fcr unterschiedlichste Anwendungen. Ein Anwendungsbeispiel sind Vakuummessger\u00e4te in der Halbleiterindustrie, in welchem kapazitiv-keramische Druckmesszellen aufgrund ihrer Anpassungsf\u00e4higkeit, hoher Sensitivit\u00e4t und Langzeitstabilit\u00e4t von Vorteil sind.\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/www.sensors-components.endress.com\/de\/2025\/06\/17\/unsere-sensoren-ihre-applikationen-kapazitiv-keramische-drucksensoren-vakuummessgeraete\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"de_DE\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"Unsere Sensoren - Ihre Applikationen: Kapazitiv keramische Drucksensoren f\u00fcr Vakuummessger\u00e4te - Customized Pressure Sensors and Components\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"Endress+Hauser Sensors&amp;Components bietet Sensoren f\u00fcr unterschiedlichste Anwendungen. 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