用于半导体行业真空测量的电容式陶瓷压力传感器
行业应用:
真空计是测量和监控许多行业在生产制造过程中设备内真空度的重要仪器。在半导体行业，真空计通常用于监测和控制蚀刻和沉积等过程中的真空度。
测量难点:
- 精度和准确度的高
半导体制造工艺对真空测量的精度和准确度要求极高。即使是微小的压力偏差也会导致晶片在生产中出现缺陷，例如蚀刻或沉积不均匀。真空计必须以高灵敏度和高稳定性运行，以确保始终如一的过程控制。
- 耐化学腐蚀性
半导体行业在生产过程中会使用各种可能具有腐蚀性或反应性的工艺气体和化学品。真空计必须具有强抗腐蚀性，以避免介质被污染。
我们的解决方案:
与皮拉尼原理的真空计或压阻式压力传感器等传统技术相比，Endress+Hauser的Ceracore系列电容式陶瓷压力传感器具有以下特点
- 对测量环境的良好适应性
Endress+Hauser的电容式陶瓷压力传感器，采用高纯度（99.9% Al2O3）陶瓷制成，具有优异的耐腐蚀性和耐磨性。即使在高温、高压或腐蚀性环境等具有挑战性的环境条件下，也能实现可靠的测量。
- 高灵敏度
通过使用特殊的陶瓷材料和电容技术，传感器可以识别到非常微小的物理变化，并将其转换为精确的电信号。这种高灵敏度使其即使在低压环境下也能精确测量其真空度。在测量精度要求极高的真空测量应用中，电容式陶瓷压力传感器的高灵敏度可确保测量和监控真空压力的最微小变化。
- 良好的长期稳定性
Ceracore 压力传感器的零点漂移极低，这意味着它们可以长期保持高精度和高可靠性，而无需频繁重新校准。这种长期稳定性对真空测量至关重要，因为它能确保在设备的整个使用寿命期间进行一致和准确的测量。例如，在需要持续监测真空度的工业过程中，陶瓷电容式压力传感器的长期稳定性有助于最大限度地减少测量误差，改善过程控制。
Endress+Hauser Sensors&Components致力于与客户通力合作，来自研发、产品管理和销售的跨部门团队和技术专家将始终伴您左右，从产品设计、原型生产、测试取证到批量生产，我们全心全意实现您的个性化应用需求。
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