Kapazitiv keramische Drucksensoren für Vakuummessgeräte in der Halbleiterindustrie

Die Anwendung:

Vakuummessgeräte sind wichtige Instrumente zur Messung und Überwachung des Vakuums in verschiedenen Branchen. In der Halbleiterfertigung werden z.B. Vakuummessgeräte häufig zur Überwachung und Steuerung des Vakuums während Herstellungsprozessen wie Ätzen und Abscheidung eingesetzt.

Die Herausforderung:

• Anforderungen an Präzision und Genauigkeit

Halbleiterfertigungsprozesse erfordern eine sehr hohe Präzision und Genauigkeit bei Vakuummessungen. Schon geringe Druckabweichungen können zu Defekten bei der Waferherstellung führen, wie z. B. ungleichmäßiges Ätzen oder Abscheidung. Vakuummessgeräte müssen mit hoher Empfindlichkeit und Stabilität arbeiten, um eine gleichbleibende Prozesskontrolle zu gewährleisten.

• Chemische Beständigkeit

In Halbleiterfabriken wird eine Vielzahl von Prozessgasen und Chemikalien verwendet, die korrosiv oder reaktiv sein können. Vakuummessgeräte müssen mit diesen Substanzen kompatibel sein, um eine Verunreinigung zu vermeiden.

Unsere Lösung:

Im Vergleich zu herkömmlichen Technologien wie Pirani-Messgeräte oder piezoresistiven Drucksensoren bieten die kapazitiven keramischen Drucksensoren der Ceracore-Familie von Endress+Hauser folgende Vorteile:

• Außergewöhnliche Resistenz gegen Umwelteinflüsse

Die kapazitiv keramischen Drucksensoren von Endress+Hauser werden aus hochreiner (99,9 % Al2O3) Keramik hergestellt, die eine ausgezeichnete Korrosions- und Abriebfestigkeit aufweist. Dies ermöglicht auch an herausfordernden Prozessbedingungen wie hohen Temperaturen, niedrigen Drücken oder im korrosiven Milieu eine zuverlässige Messung.

• Hohe Sensitivität

Durch die Verwendung keramischer Materialien und der kapazitiven Technologie können die Sensoren bereits sehr kleine Änderungen erkennen und diese in präzise elektrische Signale umwandeln. Diese hohe Empfindlichkeit ermöglicht eine genaue Messung des Vakuums. In Anwendungen mit Vakuummessgeräten, in denen präzise Druckmessungen von entscheidender Bedeutung sind, gewährleistet die hohe Empfindlichkeit der kapazitiven keramischen Drucksensoren, dass selbst kleinste Änderungen des Vakuums erkannt und überwacht werden können.

• Langzeitstabilität

Die Ceracore Drucksensoren weisen eine hohe Nullpunktstabilität auf, was bedeutet, dass sie über lange Zeiträume hinweg eine hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Messung beibehalten können. Diese Langzeitstabilität ist für Vakuummessgeräte von entscheidender Bedeutung, da sie konsistente und genaue Messungen über die gesamte Lebensdauer des Geräts gewährleistet. In industriellen Prozessen, die eine kontinuierliche Überwachung des Vakuums erfordern, trägt die Langzeitstabilität der keramisch kapazitiven Drucksensoren beispielsweise dazu bei Messfehler zu minimieren und die Prozesskontrolle zu verbessern.

Endress+Hauser Sensors&Components entwickelt seit über drei Jahrzehnten kundenspezifische Sensoren und setzt dabei auf eine partnerschaftliche Zusammenarbeit mit dem Kunden. Ein interdisziplinäres Team aus Entwicklung, Produktmanagement und Vertrieb setzt die Anforderungen der Anwender bestmöglich um. Alle Informationen zum kapazitiven keramischen Druckportfolio finden Sie auf den entsprechenden Produktseiten.